有機(jī)廢氣處理中生物凈化法實(shí)質(zhì)上是一種氧化分解過程：附著在多孔、潮濕介質(zhì)上的活性微生物以廢氣中有機(jī)組分作為其生命活動(dòng)的能源或養(yǎng)分，轉(zhuǎn)化為簡單的無機(jī)物(CO2、H2O)或細(xì)胞組成物質(zhì)?，F(xiàn)階段主要工藝包括：生物過濾床、生物滴濾床以及生物洗滌床。

生物過濾床：東莞廢氣治理的生物過濾床是一種在其中填入具有吸附性濾料(如泥炭、土壤、活性炭等物質(zhì))的凈化裝置。掛生物膜前，在過濾床中摻入pH緩沖劑和N、P、K等營養(yǎng)元素(如NH4NO3和K2HPO3)，當(dāng)具有一定濕度的廢氣進(jìn)入生物濾床，通過約0.5～1m厚的生物活性填料層時(shí)，濾料中的微生物(主要是細(xì)菌、放線菌、原生動(dòng)物、藻類等)即可通過接觸而捕獲廢氣中的有機(jī)物并將其作為自身生長的碳源。因此，廢氣通過生物過濾床后即可被凈化，而濾料層中的微生物在生化降解污染物的過程中不斷生長繁殖，從而使生物濾池的操作得以持續(xù)進(jìn)行。濾料使用一年后一般呈酸性，要定期進(jìn)行維護(hù)和保養(yǎng)。

生物滴濾床：東莞廢氣治理的生物滴濾池與生物濾池的結(jié)構(gòu)相似，不同之處在于其頂部設(shè)有噴淋裝置。生物滴濾床使用的是粗碎石、塑料蜂窩狀填料、塑料波紋板填料、陶瓷、不銹鋼拉西環(huán)、樹皮、活性炭纖維、微孔硅膠等一類不具吸附性的填料，填料的表面是微生物形成的幾毫米厚的生物膜。廢氣通過滴濾池時(shí)，廢氣中的污染物被微生物降解，生物滴濾池在營養(yǎng)供給和微生物生長環(huán)境的調(diào)節(jié)方面具有優(yōu)勢，可承受比生物濾池更大的污染負(fù)荷，同時(shí)具有很大的緩沖能力，操作條件也易于控制，可通過調(diào)節(jié)循環(huán)液的pH，加入K2HPO4、NH4NO3等物質(zhì)得以實(shí)現(xiàn)。
生物洗滌塔：東莞廢氣治理的生物洗滌塔通常由一個(gè)裝有填料的洗滌器和一個(gè)具有活性污泥的生物反應(yīng)器構(gòu)成。洗滌器里的噴淋裝置將循環(huán)液逆著氣流噴灑，使廢氣中的污染物與填料表面的水接觸，被水吸收而轉(zhuǎn)入液相，從而實(shí)現(xiàn)質(zhì)量傳遞過程。吸收了廢氣組分的洗滌液，流入活性污泥池中，通入空氣充氧后再生，被吸收的氣態(tài)污染物通過微生物氧化作用，被活性污泥懸浮液從液相中除去，生物洗滌塔工藝中的液相是流動(dòng)的，這有利于控制反應(yīng)條件，便于添加營養(yǎng)液、緩沖劑和更換液體，除去多余的產(chǎn)物。

不同成分、濃度及氣量的氣態(tài)污染物各有其有效的生物凈化系統(tǒng)。生物洗滌塔適宜于處理凈化氣量較小、濃度大、易溶且生物代謝速率較低的廢氣；對(duì)于氣量大、濃度低的廢氣可采用生物過濾床；而對(duì)于負(fù)荷較高以及污染物降解后會(huì)生成酸性物質(zhì)的則以生物滴濾床為好。